根据应用和材料要求,CQT使用各种玻璃和石英。我们的设计师和工程师擅长使用任何数量的玻璃和石英材料来加工和制造精密光学产品,如用于光学的熔融石英部件,用于光纤应用的熔融二氧化硅部件
根据应用和材料要求,CQT使用各种玻璃和石英。我们的设计师和工程师擅长使用任何数量的玻璃和石英材料来加工和制造精密光学产品,
例如用于光学的熔融石英部件,用于光纤应用的熔融石英部件以及半导体制造中的硼硅酸盐玻璃部件。
这是高品质的石英材料中国工厂谈论石英棒的生产过程。
1.熔融石英晶片表面因工作后的加工应力而损坏的层。
2.使用喷砂方法感受晶圆上的缺陷和缺陷的下半部分。
一般规格如下表所示,如果没有您指定的规格,您可以自由告诉我们,我们很乐意为您定制。
spec | unit | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Diameter/size(or square) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
Tolerance (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
Thickness | mm | 0.10 or more | 0.30 or more | 0.40 or more | 0.50 or more | 0.50 or more |
Primary reference flat | mm | 32.5 | 57.5 | Semi-notch | Semi-notch | Semi-notch |
LTV (5mmx5mm) | µm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
TTV | µm | < 2 | < 3 | <3 | <5 | <5 |
Bow | µm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
Warp | µm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
PLTV(5mm*5mm)<0.4um | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
Edge Rounding | mm | Compliant with SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276 | ||||
Surface Type | Single Side Polished /Double Sides Polished | |||||
Polished side Ra | nm | ≤1 | ||||
Back Side Criteria | µm | general 0.2-0.7 or customized |
Material included: : Borofloat33/B270/D263/BK7 etc.
: Eagle XG , Fused Silica 7980/7978/7979 etc.
: Fused Silica JGS1/JGS2 & Single quartz etc.
: H-K9L glass/ Soda Lime etc.
Process capability:
Item | Capability |
Diameter | 5mm - 400mm |
Thickness | 50μm or more |
Dimensional Tolerance | +/- 25μm |
Thickness Tolerance | +/- 5μm |
Thickness Variation(TTV) | < 2μm |
Flatness | 1/10 Wave/Inch |
Surface Roughness (RMS) | <5Ǻ |
Scratch and Dig | 10/5 |
Particle Size | <10μm |
Bow/Warp | <10μm |