晶片外观检验:
1 适用范围：本标准适用于所有出厂晶片的检验和部分工序检验；出厂检验时应按工艺要求选择， 工序检验都按Ⅰ级标准进行。
2 说明：本标准共分圆片、方片二种；其中方片是指去除籽晶后的方形晶片，包括厚度片和频率 片；圆片是指经过改圆加工后圆形晶片，包括厚度片，频率片，腐蚀片和抛光片等。
3 名词解释 DEFINITION： 3.1 裂痕：在光线下看起来为明亮的点或线，位于晶片的中心或边缘，贯穿于晶片的两表面， 见图 1；
3.2 缺口：位于晶片的边缘，而没有贯穿晶片只是在晶片一个表面，见图 2；
3.3 缺角：专指方片，位于晶片的四角处，贯穿或未贯穿晶片，见图 3；
3.4 崩边：位于晶片的边缘，并贯穿晶片，见图 4；
3.5 毛边：位于晶片的边缘，较多连续的缺口或崩角，见图 5；
3.6 划痕：直线或折线，位于晶片的表面，见图 6；其中明显划痕是指在黑色绒布上和光线下 肉眼可看到的划痕；
3.7 脏片：在黑色绒布上和光线下可看到的表面附有任何污点的晶片；
4 检验标准 ：
4.1 方片：分Ⅰ和Ⅰa 级
4.1.1 Ⅰ级标准
4.1.1.1 标记：分两种标记，见图 8，①倒角：尺寸 C（见图 8-1）应符合工艺要求，并能准确地分辩；②油漆：颜色符合工艺要求，并无脱落（见图 8-2）；
4.1.1.2 裂痕：无任何裂痕，见图 9；
4.1.1.3 缺口、崩边：深入中心的深度不超过 0.2mm，宽度不超过 0.5mm，在同一边不 允许两个或以上的该缺口，见图 10、11；
4.1.1.4 缺角：深入中心的深度不超过 0.3mm，宽度不超过 0.5mm，但不能造成方向标 记混淆，见图 12；
4.1.1.5 毛边：深入中心的深度不超过 0.1mm，宽度不超过 1mm，见图 13；
4.1.1.6 划痕：不允许存在划痕；
4.1.1.7 脏片：不允许存在油污等脏物；
4.1.2 Ⅰa 级标准
4.1.2.1 标记：分两种标记，见图 8，①倒角：尺寸 C（见图 8-1）应符合工艺要求，并 能准确地分辩；②油漆：颜色符合工艺要求，并无脱落（见图 8-2）；
4.1.2.2 裂痕：无任何裂痕，见图 9；
4.1.2.3 缺口：深入中心的深度不超过 0.1mm，宽度不超过 0.2mm，见图 14；
4.1.2.4 缺角：深入中心的深度不超过 0.15mm，宽度不超过 0.3mm，但不能造成方向标 记混淆，见图 15；
4.1.2.5 毛边：深入中心的深度不超过 0.05mm，宽度不超过 0.5mm，见图 20、21；
4.1.2.6 划痕：不允许存在划痕；
4.1.2.7 脏片：不允许存在手指印、水印和污点等脏物；
4.2 圆片：分Ⅰ和Ⅰa 级
4.2.1 Ⅰ级标准
4.2.1.1 裂痕：无任何裂痕
4.2.1.2 缺口：深入中心的深度不超过 0.2mm，宽度不超过 0.4mm；
4.2.1.3 崩边：深入中心的深度不超过 0.2mm，宽度不超过 0.4mm，60°范围内 1 个， 最多可有 5 个；
4.2.1.4 毛边：深入中心的深度不超过 0.10mm，宽度不超过 0.5mm；
4.2.1.5 划痕：不允许存在划痕；
4.2.1.6 脏片：不允许存在手指印、水印和污点等脏物；
4.2.2 Ⅰa 级标准
4.2.2.1 裂痕：无任何裂痕；
4.2.2.2 缺口：深入中心的深度不超过 0.15mm，宽度不超过 0.2mm，60°范围内 1 个， 最多可有 5 个；
4.2.2.3 崩边：深入中心的深度不超过 0.15mm，宽度不超过 0.2mm；
4.2.2.4 毛边：无毛边；
4.2.2.5 划痕：不允许存在划痕，对于非腐蚀晶片和抛光晶片应在腐蚀后检查；
4.2.2.6 脏片：不允许存在手指印、水印和污点等脏物；
5 抽样标准 :
按照各级标准，缺陷超差的允许数为
5.1 标记：按 GB2828.1-2003 抽样标准一般水平Ⅱ（加严），AQL=0.4 进行；
5.2 裂痕：0 片；
5.3 缺口：按 GB2828.1-2003 抽样标准一般水平Ⅱ（加严），AQL=0.4 进行；
5.4 崩边：按 GB2828.1-2003 抽样标准一般水平Ⅱ（加严），AQL=0.4 进行；
5.5 毛边：按 GB2828.1-2003 抽样标准一般水平Ⅱ（加严），AQL=0.4 进行；
5.6 划痕：0 片
5.7 脏片：按 GB2828.1-2003 抽样标准一般水平Ⅱ（加严），AQL=0.4 进行；
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