铌酸锂薄膜是一种绝缘体上压电晶片。
它的层叠结构是由支撑衬底组成的,支撑衬底可以是硅、石英、熔融二氧化硅、蓝宝石或LN晶圆,
中间层是热氧化物SiO2作为绝缘体,铌酸锂薄膜是绝缘层之上的功能层。
POI /LNOI工程基板可以通过简单的器件制造技术设计出具有高质量因数、大带宽、极低温度灵敏度和低插入损耗的滤波器。
这些晶圆被开发并用于高速调制器,高Q因子SAW器件,红外探测器,太赫兹器件。
我们与在智能切割和晶圆键合技术方面经验丰富的战略合作伙伴合作,为LN/LT提供从3 " 4 " 6 "到8 "尺寸的重要压电层,以构建具有多层结构的特殊晶圆。