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    光学级单晶石英衬底基片
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    光学级单晶石英衬底基片

    我们在光学级石英的生长和批量生产方面有丰富的经验。我们拥有先进的晶圆生长,晶圆研磨,抛光和检验设备。

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    我们在光学级石英的生长和批量生产方面有丰富的经验。我们拥有先进的晶圆生长,晶圆研磨,抛光和检验设备。

    MaterialQuartz Crystal 
    Cutting AngleX/Y/Z-cut  etc
    Diameter/size1”(25.4mm)-6”(150mm)
    Tol(±)<0.20 mm
    Thickness0.05mm  or more
    LTV (5mmx5mm) <1µm
    TTV  <3µm
    Bow -30<bow<30
    Warp <40µm
    Surface TypeSingle Side Polished /Double Sides Polished
    Polished side Ra<0.5nm
    Back Side CriteriaGeneral is 0.2-0.5µm or as customized
    Scratch/DigBette than 40/20
    Edge CriteriaR=0.2mm or Bullnose
    Material PropertyECDBetter than grade 4
    InclusionBetter than grade I
    Q-ValueBetter than grade C
    Wafer Surface CriteriaParticles ¢>0.3 µm<= 30
    Scratch , ChippingNone
    DefectNo edge cracks, scratches, saw marks, stains
    PackagingQty/Wafer box25pcs per box 
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